英国牛津 Optofab3000离子束设备

产品特点：

英国牛津 离子束设备 - Optofab3000介绍

专为DWDM器件设计的Optofab3000系统，使DWDM镀膜成为一项简单的事情

Optofab3000：制作DWDM光滤波器的离子束溅射沉积系统

迅速增长的光通信业务流量对通信带宽和容量提出了越来越高的要求。光器件厂商需要生产能力大产量高的加工系统。离子束溅射沉积是生产高质量、高精度光学薄膜的最佳选择。Optofab3000系统是一个基于已成熟的Ionfab300plus系统之上的组合式的离子束系统，可以进行高质量的刻蚀和沉积加工。在高性能光学器件市场中，牛津仪器等离子体技术设备公司已经成为全球领先的离子束沉积系统生产商。典型的应用包括DWDM 滤波器、分插复用器、增益平坦滤波器和抗反射薄膜等。

Optofab3000更高的沉积速率

Optofab3000系统由于改进了离子光学/系统几何结构，同时具有高速率的离子源，因此具有较高的沉积速率。其离子源是15cm的射频源，具有三个碟形钼栅格的设计。这种新的设计具有栅格形状稳定、离子束形状可控制等特点，可以实现高速均匀沉积。该系统还配有长寿命的中和器，从而保证稳定的操作以及束流和靶的有效中和。