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英国牛津 离子束设备300Plus

英国牛津 离子束设备300Plus
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 英国牛津 离子束设备300Plus
产品型号: 离子束设备300Plus
产品展商: 北京中仪伟信科技有限公司
品牌厂商: 英国牛津
发布时间: 2010-5-5 12:01:57  

简单介绍
离子测量厚度：8.5mm

英国牛津 离子束设备300Plus的详细介绍

产品特点：


英国牛津 离子束设备 - Ionfab 300Plus介绍

Ionfab 300Plus是模块化的离子束（Ion Beam）刻蚀和沉积系统，是用离子束的方法对样片进行刻蚀和溅射沉积，从而达到高准确度、高精度的客户要求。最大直径8英寸，厚度最高达8.5mm的多种类型样片可以被自动进片系统装入反应室，带积分中和的15cm离子源使产品的均匀性得到巨大的提高。

Ionfab300Plus被设计成一个模块化的离子束系统，用于离子束刻蚀和离子束镀膜。

　　它已经被广泛应用于各种类型的工艺研究和生产，特别在半导体行业和光学镀膜领域得到了广泛应用。

离子束设备 Plasmalab Ionfab300Plus 产品介绍　　

该设备可以被配置成：

       国际教育局（惰性气体离子束蚀刻）
       里伯（反应离子束蚀刻）
       CAIBE （化学辅助离子束蚀刻）
       IBSD （离子束溅射沉积
       IASD （离子辅助溅射沉积） 
       RIBD （反应离子束沉积）
英文
  • IBE（Inert Gas Ion Beam Etch）
  • RIBE（Reactive Ion Beam Etch）
  • CAIBE（Chemically Assisted Ion Beam Etch）
  • IBSD（Ion Beam Sputter Deposition
  • ·IASD（Ion Assisted Sputter Deposition）
  • RIBD（Reactive Ion Beam Deposition）

    • 　　
    离子束设备 Plasmalab Ionfab300Plus 典型应用： 　　  

          砷化镓光电
          微波集成电路
          的InP激光光学
          红外线探测器
          薄膜磁头
         SAW （声表面波）器件
          介电光学薄膜
          透视镜
          金刚石涂层
    英文 
  • GaAs Opto-electronics
  • Microwave integrated circuits
  • InP laser optics
  • Infra red detectors
  • Thin film magnetic heads
  • SAW（Surface Acoustic Wave）devices
  • Dielectic optical coatings
  • X-ray mirrors
  • DLC coatings　

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