产品特点:
英国牛津 等离子设备 - Plasmalab System133系列产品
System133是在System100基础上开发的大腔体产品,可以适合诸如8英寸以上样片的处理。大真空腔和大预真空锁的设计,充分考虑到了大直径产品的生产。
Plasmalab System133-ICP等离子设备介绍
ICP(高密度等离子体)配置产品,可以最多一批处理12片2"样片
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